用于真空爐石墨部件的防護辦法
本發(fā)明觸及一種用于真空爐石墨部件的防護辦法，該防護辦法包含:
1)對真空爐石墨部件進行拋光打磨,使真空爐石墨部件的表面粗糙度達到0.5mm以下；
2)將拋光打磨后的真空爐石墨部件放入CVD爐內(nèi)；
3)設(shè)定CVD爐內(nèi)的溫度和壓力，向CVD爐內(nèi)通入甲烷和氮氣或者通入三氯化硼，氨氣和惰性氣體，終究在石墨部件表面沉積一層熱解石墨涂層或熱解氮化硼涂層。
本發(fā)明經(jīng)過在真空爐石墨部件表面涂覆一層熱解石墨或熱解氮化硼涂層，一方面可以避免石墨粉塵蒸發(fā)出來污染反應腔室，然后提高產(chǎn)品的純凈度；另一方面可以維護真空爐石墨部件，延伸真空爐石墨部件的使用壽命，降低企業(yè)本錢。
