真空爐是一種可以在高溫下制備資料的設備,一般需要在載體(如石英管)內部抽出氣體,以創(chuàng)造一個低壓環(huán)境。在真空爐中,真空度是一個非常要害的指標。
一般來說,真空爐的真空度要求應該在10^-5至10^-6的范圍內,即每立方厘米的氣體分子數(shù)在這個范圍內。一般情況下,真空度越高,資料的制備質量就越高,因此對某些特殊范疇(如航空、航天)的資料制備,真空度要求可到達10^-8乃至10^-10。
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