① 真空計(jì)的選擇。直空計(jì)根據(jù)極限壓力、作業(yè)壓力、氣體成分、丈量精度等要求來選 擇。真空計(jì)的布點(diǎn)應(yīng)能代表真空設(shè)備最關(guān)懷方位的真空度。
② 承認(rèn)真空抽氣管路。主抽氣管路規(guī)劃，包括選擇主閥、障板、阱等。粗抽與前級(jí)管 裝備.包括油捕集器、過濾器、粗抽泵排氣口油霧捕集器、消聲器、各種閥門等。這些管路 元件是按需求選擇的，各類真空設(shè)備要求不同，裝備亦不同。
根據(jù)管路中各種管道及元件核算出流導(dǎo)值是否滿足規(guī)劃要求。管道的選擇遵從粗而短的 原則。一般來講.管道的直徑與真空泵進(jìn)口直徑適當(dāng)。
③ 真空泵選型。真空泵的種類根據(jù)④的原則承認(rèn)后，尚需根據(jù)極限壓力、作業(yè)壓力、 抽氣時(shí)刻、管路流導(dǎo)等要素，核算真空泵的抽速，承認(rèn)主泵型號(hào)，并裝備前級(jí)泵、粗抽泵， 以及承認(rèn)管路中各種真空元件，制作真空系統(tǒng)抽氣原理圖。
④ 真空材料的選擇。真空爐的真空系統(tǒng)中運(yùn)用的材料首要包括兩類，即殼體材料及密封材料。真空爐的 真空室及管路所用材料稱為殼體材料，而各種靜密封及動(dòng)密封材料統(tǒng)稱為密封材料。無論是 殼體材料，仍是密封材料，選擇的首要根據(jù)是真空設(shè)備的真空度。超高真空設(shè)備，殼體材料 有必要用不銹鋼，而密封材料選擇金屬材料。高真空設(shè)備，殼體材料用不銹鋼或許碳鋼均可 以，首要考慮生產(chǎn)工藝進(jìn)程發(fā)生的氣體是否對(duì)材料有腐蝕。一般選用不銹鋼或碳鋼鍍鐐，或 其他涂敷工藝。密封材料選擇橡膠密封。低真空設(shè)備選擇材料首要考慮被抽氣體是否有腐蝕 性問題。
真空管路的粗抽管道及前級(jí)管道，_般選擇無縫鋼管,而高真空管道材料與真空室殼體 材料相同。
⑤ 真空檢漏。真空爐內(nèi)真空室的漏率操控非常重要，在真空系統(tǒng)規(guī)劃時(shí)，需求共同考慮，特別 是大型真空系統(tǒng)，倘若考慮不周，或許出現(xiàn)局部焊縫無法檢測(cè)。真空系統(tǒng)檢漏包括制定檢渝 計(jì)劃、檢漏儀器選擇、檢漏方法承認(rèn)，以及加工進(jìn)程中不同工序的檢漏，畢竟給出點(diǎn)評(píng) 成果Q
真空室及管路、元件所需漏率根據(jù)真空度要求承認(rèn)，只要能滿足作業(yè)壓力、極限壓力及 本底壓力即可，無需求求過高，否則將添加無謂的制作本錢。 一.
⑥ '焊接方法選擇。根據(jù)殼體材料及其空設(shè)備所需真空度選擇焊接手法真空容器" 一般選用內(nèi)焊縫，有利于清洗，不會(huì)構(gòu)成死空間，有利于抽罵
冷/真潔籍非中各利'元件均需通過機(jī)械加匚在加工中會(huì)遭到潤(rùn)/ 誓液、汗痕，以及環(huán)境的污染。為了取得預(yù)期的其空度，有必要選用不同方法進(jìn)行清m 處理G