真空燒結(jié)爐石墨件主要用于半導(dǎo)體元件和功率整流器件的燒結(jié)過程。它可用于真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)和常規(guī)燒結(jié)。它是特種半導(dǎo)體設(shè)備系列中的一種新型工藝設(shè)備。設(shè)計(jì)理念新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，可在一臺(tái)設(shè)備上完成多種工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝。那么我們來看看真空燒結(jié)爐遇到以下三種情況時(shí)可以采取的應(yīng)急措施。
一、供熱電源停電
1、水壓，當(dāng)水壓低于0.15MPa時(shí)，壓力表報(bào)警。
2.接地故障。
3.對(duì)于真空放電，水冷電極與加熱器的連接處必須連接牢固，最好與反射器絕緣。
4.如果爐內(nèi)壓力在13.3-66.5Pa(這個(gè)真空度容易放電)。停電和斷電的原因可以認(rèn)為是介質(zhì)擊穿引起的放電。
二，停止充氣。
1.開始抽真空前，請(qǐng)確認(rèn)充氣時(shí)間長(zhǎng)或無法充氣時(shí)，氣體管道是否堵塞。
2.如果氣路沒有問題，檢查電磁閥和充氣閥的動(dòng)作。為了安全起見，在檢查之前，應(yīng)停止所有與之相關(guān)的設(shè)備。
3.當(dāng)充入真空室的空氣無法停止時(shí)，當(dāng)泄壓閥動(dòng)作時(shí)，所有氣體系統(tǒng)包括供氣閥和管道都應(yīng)關(guān)閉。
4.確認(rèn)充氣管是否漏氣，漏氣會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量。
三 ，停電
1.停電時(shí)，如果斷水，應(yīng)立即接通備用冷卻水，并接通水源。
2.如果在非加熱、加熱和冷卻期間能盡快恢復(fù)，重新啟動(dòng)設(shè)備。如果需要長(zhǎng)時(shí)間繼續(xù)運(yùn)行，請(qǐng)保持設(shè)備原樣。
3.如果在加熱和冷卻過程中可以盡快恢復(fù)，重新啟動(dòng)設(shè)備。如果需要很長(zhǎng)時(shí)間，就保持原樣，讓設(shè)備自然冷卻。